El laboratorio de óptica está enfocado a la medición parámetros dinámicos y estáticos de micro y nanodispositivos. Se encuentra equipado con herramientas y equipos para medir perfiles, espesores y rugosidad en el ámbito de los materiales y la deposición de recubrimientos sobre substratos de silicio, vidrio, cuarzo, etc. De la misma forma, se pueden medir desplazamientos, velocidad, aceleración, vibración, frecuencia de resonancia, entre otros, en dispositivos MEMS. Todas estas operaciones se realizan usando la interferometría óptica como herramienta fundamental para realizar pruebas no destructivas y sin contacto. Otro actividad que también se desarrolla en este laboratorio es la espectroscopia óptica por Transformada de Fourier. Actualmente se desarrollan pruebas para el diseño de una herramienta de análisis espectral basado en esta técnica. Dentro de los equipos con que cuenta en el laboratorio son Equipos de medición electrónico y óptico, microscopios accesorios para experimentación óptica, fuentes de luz monocromática y de espectro extendido del UV-VIS-IR así como demoduladores de fase óptica, entre otros.
